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晶體硅太陽電池 SENperc PV是為PERC太陽能電池制造質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)的。它測量SiO2、Al2O3和SiNX單層膜和疊層膜，這些單層膜和疊層膜用于PERC電池(多晶硅襯底和c-Si襯底)的正面反射和背面鈍化。對(duì)沉積過程的穩(wěn)定性進(jìn)行長時(shí)間的監(jiān)測。由此，優(yōu)化了維護(hù)時(shí)間間隔。
